Небольшая ручная зондовая станция серии
1. Благодаря модульной конструкции UPStartTM клиенты могут сконфигурировать соответствующие модули в соответствии с текущими потребностями тестирования; доступны различные конфигурации, включая различные патроны, иглодержатели, приспособления, зонды, микроскопы и т.д., Которые могут быть присоединены: ударопрочная настольная система, защитный бокс；
2. В нем используется закрытая мобильная платформа, которая является пыленепроницаемой, защищенной от неправильной эксплуатации и долговечной в течение длительного времени; в нем используется прецизионный винтовой привод + линейное перемещение + конструкция с разницей возврата без зазоров, и позиционирование становится более точным.;
3. Подходит для адаптивной сейсмоизоляционной основы POMaterTM с использованием сейсмоизоляционных материалов, импортированных из Германии, для усиления упругой опоры и повышения стабильности испытаний；
| Model | M series | M series | Mseries | |
| Размер (Д*Ш*В/мм) | 650*490*620mm | 650*490*620mm | 650*490*620mm | |
| Приблизительный вес (КГ) | Около 45 кг | Около 47 кг | Около 52 кг | |
| Потребляемая мощность | 220VC,50~60Hz | |||
| Нормальная температура патрона стандартная | Материал патрона | 4″ | 6″ | 6″ |
| Способ фиксации образца | Кольцевая вакуумная адсорбция (пористая адсорбция может быть настроена индивидуально) | |||
| Испытание задним электродом | Да/ступень отбора проб электрически независима | |||
| Материал патрона | Stainless Steel/Copper Nickel Plated or Gold Plated | |||
| Платформа для перемещения патрона | Перемещение по оси X-Y | 100*100 мм | 150*150 мм | 150*150 мм |
| Точность перемещения | 10μm | |||
| Тета-маршрут | поворот на 360° (грубая регулировка); диапазон точной регулировки ±8°, точность точной регулировки 0,002° | |||
| Подъем патрона | N/A | |||
| Быстрое извлечение патрона | N/A | |||
| Способ управления | привод с маленькой ручкой | |||
| Микропозиционер | Размер (Д * Ш) | 540мм*310мм | ||
| Расстояние от патрона до платформы | 8 мм (верхняя поверхность патрона и нижняя поверхность микропозиционера) | |||
| Номер | Можно разместить до 6 контактов (DC×6/RF×4, DC×2) | |||
| Подъемник микропозиционера | N/A | |||
| Фиксация микропозиционера | Магнитная адсорбция или вакуумная адсорбция | |||
| Оптические свойства | Технические характеристики микроскопа | Стандартный стереомикроскоп (дополнительный видеомикроскоп) | ||
| Получить | 16~100X | |||
| Пиксель CCD | 3 вида CCD опционально: 200 Вт (цифровой) / 500 Вт (цифровой) / 650 Вт (цифровой) | |||
| Ход управления микроскопом | Управление рамкой фокусировки микроскопа можно поворачивать на 360 градусов, | |||
| Ось Z: 50,8 мм | ||||
| Точность перемещения микроскопа | N/A | |||
| Способ переключения линз | N/A | |||
| Технические характеристики зонда | Перемещение по оси X-Y-Z | 12мм-12мм-12мм | ||
| Механическая точность | 10μm/2μm/0.7μm | |||
| Точность утечки | Коаксиальный 1 пА/В при 25°C; Трехосный 100fA/В при 25°C; Трехосный 10 пА при 3 кВ при 25°C, Условия испытания: заземленная экранированная сухая среда (точка росы воздуха ниже -40°C) | |||
| Форма интерфейса | “банан” (штеккер) / зажим “крокодил” / коаксиальный/трехосный интерфейс | |||
| Испытательное устройство | Тестирование диодов и транзисторов на уровне пластин | ● | Тестовое приложение | Испытание постоянным током/(（IV、CV、I-t、V-t） | ● | ||
| Проверка устройства питания (IGBT, MOSFET) | ● | Испытание на низкий ток (уровень 100fA) | ● | ||||
| Тестирование MEMS-устройств | ● | 1/f испытание на шум | ● | ||||
| LD (VSCEL) PD, испытание светодиодного фотоэлектрического устройства | ● | Тест на анализ отказов ТВС | ◯ | ||||
| Тестирование компонентов печатной платы | ● | Тест на определение характеристик устройства | ● | ||||
| Тест LCD-TFT | ● | Испытание на надежность и старение WLR | ● | ||||
| Проверка запоминающего устройства (тест на быстрый импульс) | ● | Радиочастота RF | Радиочастотный тест до 67 ГГц | ● | |||
| Устройство для тестирования двумерных материалов | ● | Тест на ммВт/суб-ТГц | ◯ | ||||
| Радиочастотное устройство | ● | Испытание на ТГц и тягу под нагрузкой | ◯ | ||||
| Испытание кремниевого оптического устройства | ◯ | Испытание кремниевой фотоники/оптрона | ◯ | ||||
| Испытания на высокую мощность/большой ток и/или высокое напряжение | ◯ | ||||||
| Испытание при высокой температуре | ◐ | ||||||
| Испытание при низкой температуре | ◯ | ||||||
| Испытание в условиях сверхвысокого вакуума и сверхнизкой температуры | ◯ | ||||||
| ●Рекомендуется поддержка，◐ Не рекомендуется поддерживать ◯ Не поддерживается N/A | |||||||
Сопутствующие продукты
Related products
Полуавтоматическая станция для измерения пластин серии
Серия – это полуавтоматическая зондовая станция, которая объединяет электрические, оптоволновые, микроволновые и другие функции тестирования. Она специализируется на тестировании производительности современных чипов из различных материалов, таких как 6-дюймовые / 8-дюймовые / 12-дюймовые пластины (обратная совместимость) Si, GaN, SiC и т.д.Он может выполнять всепогодное обнаружение на кристалле 7 * 24 пластин, MEMS, биологических структур, фотоэлектрических устройств и других интегральных схем, светодиодов, ЖК-дисплеев, солнечных элементов и т.д., а также может загружать систему контроля температуры для удовлетворения различных требований клиентов к тестированию производительности при высоких и низких температурах. окружающая среда.
Встроенная ручная зондовая станция серии H series
Зондовая станция серии H обладает превосходными механическими свойствами и функциями тестирования. Инновационная в отрасли технология chuck mobile удовлетворяет потребности клиентов в эффективном тестировании всей пластины. Это функция, которой не обладают ручные зондовые станции других марок. В то же время, основанная на модульной и открытой конструкции UPStartTM, серия H может использоваться с различными наборами для достижения более широкого спектра тестовых функций. Зондовая станция серии H series очень подходит для разовых бюджетных закупок в научно-исследовательских лабораториях.
Вакуумная станция для измерения высоких и низких температур серии
В 2012 году, после того как запустила в КИТАЕ первую вакуумную станцию для измерения высоких и низких температур серии CG с независимой технологией, КОМПАНИЯ начала непрерывные исследования В ОБЛАСТИ технологии вакуумных низкотемпературных испытаний.После постоянной оптимизации и улучшения эксплуатационных характеристик продукта технической командой стабильность и надежность оборудования достигли достаточно высокого уровня и широко используются в отечественных первоклассных университетах, научно-исследовательских институтах, полупроводниковых компаниях и многих других подразделениях.
Опираясь на ТЕХНИЧЕСКИЙ ОПЫТ в испытаниях вакуумных зондов при высоких и низких температурах, В 2016 году БЫЛА ПРИГЛАШЕНА принять участие В разработке НЕКОТОРЫХ ОСНОВНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ проекта “Устройство наземного моделирования космической среды”, совместно созданного Харбинским технологическим институтом и Китайской аэрокосмической научно-технической группой; проект используется для проверьте устойчивость космического аппарата к воздействию вакуума, холодной черноты, солнечной радиации, магнитных полей и способность противостоять излучению частиц высокой энергии, солнечному ветру и микрометеороидам.В ЭТОМ ПРОЕКТЕ предоставляет техническую поддержку в области сверхвысокого вакуума, сверхнизких температур, автоматического управления, лазерного моделирования и т.д.Ручная зондовая станция для измерения высоких и низких температур серии
Высокотемпературные и низкотемпературные зондовые станции серии C обеспечивают среду измерений без электромагнитных помех (EMI) / радиочастотных помех (RFI) и светонепроницаемость за счет дополнительной конструкции защитной камеры. Оборудование может соответствовать требованиям испытаний в диапазоне температур от -60 °C до 300°C.
