Полностью автоматизированная система измерения удельного сопротивления методом четырёх зондов
● SR8 совместим с 6/8-дюймовыми пластинами, SR12 совместим с 8/12-дюймовыми пластинами
● Разработан для полностью автоматизированного измерения в производственных линиях, высокая эффективность тестирования
● Конфигурация с одним или двумя зондами, подходит для различных сфер применения
● Опционально поддерживается протокол коммуникации SECS/GEM для взаимодействия с заводскими системами
● Соответствует отраслевым стандартам ASTM и JIS
Описание
Спецификация
Приложение
Загрузки
Видео
Описание
Система измерения удельного сопротивления методом четырёх зондов — это высокоточное измерительное оборудование, обладающее такими преимуществами, как высокая надёжность и простота в эксплуатации. Она играет важную роль в проектировании, производстве и контроле качества микроэлектронных устройств.
Спецификация
| Модель | SR8/SR12 |
| Размеры образцов | ＜Круглые＞ 150 мм (6 дюймов), 200 мм (8 дюймов), 300 мм (12 дюймов) ＜Квадратные＞ 730×920 мм или по запросу клиента |
| Диапазон измерений | [R] 1μ~3M Ω・cm [RS] 5m~10M Ω/sq |
| Загрузочный порт | Один/два порта |
| Зонды | Один/два зонда |
| Отраслевые стандарты | ASTM и JIS |
| Интерфейс связи | Комиссия по ценным бумагам и биржам / Площадка для стартапов |
| Функциональные опции | Чистящий мат, камеры E1/E2, температурный держатель, измерение толщины пластины и другие. |
Приложение
Загрузки
Видео
Получить предложение и поддержку
Круглосуточное обслуживание 7*24 ч
GET A QUOTE