Ремонт масок с вырезами L14
- Способен восстанавливать различные материалы, включая хром, кремний, нитрид кремния, кварц, материалы для EUV, инородные частицы и стойкие неизвестные частицы.
- Обеспечивает точное удаление или восстановление дефектных областей без влияния на другие части маски.
- Предоставляет индивидуальные решения в соответствии с требованиями клиентов.
| Модель продукта | L14 | Рабочая среда | Открытая |
| Электропитание | AC 220V ±5% 50Hz | Метод управления | Ручное |
| Размер продукта | Индивидуальный | Вес оборудования | Индивидуальный |
Столик для образцов | Размер | 500mm*320mm |
Ход по осям X-Y | Ход столика по осям X-Y: 8*8 дюймов | |
Способ фиксации образца | Свободное размещение | |
Источник света | Задняя подсветка и верхний источник света | |
Характеристики микроскопа | Ход | Корпус микроскопа фиксированный, ход по оси Z: 50mm |
Пиксели CCD | 50W（аналоговые）/200W（цифровые）/500W（цифровые） | |
Окуляр | Окуляр 10X | |
Объективы | Установленные объективы：5X,10X,20X,50X(Необязательный),100X(Необязательный) | |
Револьверная головка | Ручной револьверный держатель объективов | |
Характеристики лазера | Длина волны | Возможные длины волн: 1064/532/355/266 нм |
Энергия | Мощность на выходе: 2.2mJ/Пульс | |
Возможности микромашинирования | Обрабатываемые материалы：Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/внутренние примеси CF и другие | |
Точность обработки | Минимальная точность обработки 1*1μm（при использовании объектива 100X） | |
Метод охлаждения | Возможен выбор между воздушным и водяным охлаждением лазера |
Сопутствующие продукты
Related products
Маска для ремонта LCVD LD14
Оборудование для ремонта масок LCVD LD14 в основном использует технологию лазерно-индуцированного химического осаждения из газовой фазы (LCVD) для устранения дефектов на масках。 Оно имеет широкий диапазон осаждаемой толщины и высокую точность ремонта. Микронная точность лазера эффективно справляется с масками с очень маленьким интервалом, предоставля высокоточные и экономичные решения для устранения дефектов масок с высокой стоимостью。 Это позволяет значительно снизить затраты на производство и эксплуатацию для предприятий。
