Маска для ремонта LCVD LD14
● Для изделий с разной толщиной и большим диапазоном размеров при смене продукта не требуется ручная регулировка — оборудование автоматически адаптируется, коректируя высоту головы осаждения。
● Система управления и контроля для газофазного осаждения обеспечивает количественное испарение и осаждение. При длительном использовании скорость испарения не снижается из-за расхода сырья, что предотвращает увеличение времени осаждения и удовлетворяет потребности клиентов в стабильности процесса.
● Система обработки и утилизации отходов оснащена многослойными высокотемпературными фильтрами, которые эффективно улавливают вредные компоненты из отходящих газов。 После охлаждения газы направляются в заводскую систему утилизации.
● Возможность предоставления индивидуальных решений в соответствии с требованиями заказчика。
Модель продукта | LD14 | Рабочая среда | Закрытого типа |
Электропитание | AC 220V ±5% 50Hz | Способ управления | Полностью автоматический |
Размеры продукта | Индивидуальная настройка | Вес оборудования | Индивидуальная настройка |
Проект | Описание |
Время обработки (1 дефект на пластине, включая время позиционирования) | 15 s |
Диапазон размеров панели | 5”-14” |
Толщина панели | 0.1-5mm |
Разрешение перемещения | ±0.1μm |
Повторяемая точность позиционирования | ±1μm |
Точность щели (Slit) | ≤±1μm |
Автоматическое переключение объективов с центральным смещением фокуса | ≤±1μm |
Параметры осаждения | Режим осаждения: Сканирование (Scan) и Шаговый (Step) |
Форма осаждения: Прямоугольная и круглая, с длиной сторон или диаметром Можно регулировать и отображать фактический размер пятна с помощью программного обеспечения | |
Диапазон размеров для шагового осаждения (Step): 3μm*3μm~30μm*30μm, точность регулировки 1μm | |
Точность осаждения на краях | ±0.5μm |
Толщина осаждения | 2000 Å ~15000Å регулируемая |
Максимальная общая мощность | 3.5KW |
Электропитание | AC 220V ±5% 50Hz |
UPS | 1000VA/500W 3-20 minutes (half load) |
Расходные материалы | Сжатый воздух CDA (0.6Mpa, 0~1L/min) |
Высокочистый аргон Ar (0.6Mpa, 0~5L/min) | |
Высокочистый Cr(CO)6 (чистота выше 99.8%) Высокочистый W(CO)6 (чистота выше 99.8%) или Mo(CO)6 (чистота выше 99.8%) | |
Размеры устройства | 1230*1390*2410 |
Конфигурация компьютера | i5-6500CPU, 8GDDR4 памяти, 128 ГБ SSD + 1 ТБ жесткий диск, промышленный блок питания 300W, тестовая версия Windows 10 (64-bit), PCIe X16, PCIe X4, 5 PCI-слотов, 2 гигабитных Ethernet порта, 6 последовательных портов (COM) |
Сопутствующие продукты
Related products
-
Ремонт масок с вырезами L14
Оборудование для лазерной резки и восстановления масок серии L14 предназначено для устранения дефектов, возникающих в процессе использования масок. Основой оборудования является передовая система машинного зрения, которая предоставляет высокоточные и экономичные решения для устранения дефектов на масках высокой ценности. Это в значительной степени снижает производственные и эксплуатационные затраты предприятий.