Вакуумная станция для измерения высоких и низких температур серии
1. Поддерживает температуру до 4,5 К-770 К
2. Конструкция противорадиационного экрана, равномерная температура образца и точность
3. Конструкция теплоотвода зонда обеспечивает точное опускание иглы
4. Улучшаемое нагрузочное магнитное поле
5. Гибкая и масштабируемая конфигурация тестового приложения (патрон, микроскоп, зонд, защитная коробка)











| Модель | CG series | CG series | CG series | ||
| Форма (Д*Ш*В/мм) | 850*800*1350mm | ||||
| Приблизительный вес (КГ) | примерно 170KG | Примерно | примерно 350KG | ||
| 约 170KG | |||||
| Потребляемая мощность | AC220V,50~60HZ | 380V | |||
| Материал патрона | 2″ | 4″ | 2″ | ||
| Патрон | |||||
| Способ фиксации образца | Вакуумная термопаста/пружинное таблетирование | ||||
| Движение сцены выборки | Фиксированный этап отбора проб | ||||
| Степень вакуума | 5×10-4Pa (при оснащении молекулярным насосом мощностью 250 л/с) | ||||
| Материал патрона | Нержавеющая сталь, бескислородная медь, позолоченная поверхность | Нержавеющая сталь, бескислородная медь, позолоченная поверхность | |||
| Оптические характеристики | Ход микроскопа | 2 *2 дюйма 4 *4 дюйма 2*2 дюйма | 2 *2 дюйма 4 *4 дюйма 2*2 дюйма | 2 *2 дюйма 4 *4 дюйма 2*2 дюйма | |
| Получать | Увеличение: 7:1 разрешение 4 мкм (увеличение 216X) или выберите золотой микроскоп (20X ~ 1000X) | ||||
| размер наблюдения | 2″ | 4″ | 2″ | ||
| Пиксель CCD | 50 Вт (аналоговый) / 200 Вт (цифровой) / 500 Вт (цифровой) | ||||
| Технические характеристики контроля температуры | Способ охлаждения | Холодильный компрессор с жидким азотом/жидким гелием | Холодильный компрессор с жидким азотом/жидким гелием | ||
| Способ управления | Ручное/автоматическое регулирование расхода хладагента в открытом цикле автоматическое регулирование в замкнутом цикле | Ручное/автоматическое регулирование расхода хладагента в открытом цикле автоматическое регулирование в замкнутом цикле | |||
| диапазон температур | 77K~473K/4.2K~473K | 7.3K~473K | |||
| Температурное разрешение | 0.001K | ||||
| температурная стабильность | 4.2K ±0.2K | 77K ±0.1K | |||
| ±0.1K | |||||
| время охлаждения | ≤6 0комнатная температура (Нормальная температура до 77K) | ≤150min(Нормальная температура до 10K ) | |||
| Время нагрева | ≤60min(77K до Нормальная температура) | ≤90min(10K до Нормальная температура) | |||
| Время нагрева от комнатной температуры | 100℃,≤30min;150℃,≤45min;200℃,≤60min | ||||
| Источник питания для отопления | LVDC Низкое напряжение постоянного тока | ||||
| Датчик | Кремниевый диод PT100 | Кремниевый диод PT100 | |||
| Количество датчиков | Ступень патрона, антирадиационный экран, один измерительный рычаг Ступень патрона, антирадиационный экран, один измерительный рычаг и одна холодная головка | Ступень патрона, антирадиационный экран, один измерительный рычаг Ступень патрона, антирадиационный экран, один измерительный рычаг и одна холодная головка | |||
| Сила | 50 Вт/100 Вт/500 Вт/1000 Вт | ||||
| Технические характеристики зонда | Количество зондов | до 6 | |||
| Регулировка датчика | Внешняя регулировка вакуумного сильфона, ручное управление | ||||
| Точность контакта | 2 мкм | ||||
| Ход X -Y -Z | 25мм -25мм -25мм、50мм-25мм-25мм | ||||
| Точность утечки | 100fA | ||||
| Форма интерфейса | Трехосный/SMA/K/волоконно-оптический интерфейс | ||||
| Полупроводник (микроэлектроника и интегральные схемы) | Наноэлектроника | Магнетизм и спинтроника | Настольная и молекулярная электроника | Оптоэлектроника |
| Микроволновая электроника; | Наноэлектроника | Сверхпроводник | MEMS; | Малошумящая радиочастота; и сегнетоэлектрический |
| Квантовые устройства; | Квантовые устройства; | Сверхпроводник | MEMS; | Малошумящая радиочастота; и сегнетоэлектрический |
Сопутствующие продукты
Related products
Автоматическая зондовая станция для кремниевых пластин
Новая мощная зондовая станция , используемая в диапазоне температур от -45 ℃ до + 200 ℃
Поддерживает определение характеристик пластин в высоковольтных диапазонах измерений 3 кВ (триаксиальный) / 10 кВ (коаксиальный) и 500 А, с возможностью проведения тестирований на сверхтонких листовых пластинах или пластинах TAIKO.Встроенная ручная зондовая станция серии H series
Зондовая станция серии H обладает превосходными механическими свойствами и функциями тестирования. Инновационная в отрасли технология chuck mobile удовлетворяет потребности клиентов в эффективном тестировании всей пластины. Это функция, которой не обладают ручные зондовые станции других марок. В то же время, основанная на модульной и открытой конструкции UPStartTM, серия H может использоваться с различными наборами для достижения более широкого спектра тестовых функций. Зондовая станция серии H series очень подходит для разовых бюджетных закупок в научно-исследовательских лабораториях.
Небольшая ручная зондовая станция серии
Зондовая станция серии проста и легка, занимает небольшое пространство и ее легко перемещать.Исходя из предпосылки обеспечения точности теста, он также очень экономичен и очень подходит для проведения учебных экспериментов в колледжах и университетах.Если точка контакта испытательного устройства превышает 30 мкм, то серия M является одним из основных видов оборудования.Оборудование может быть пригодно для различных применений постоянного тока, ВЧ-радиочастот до 67 ГГц, MEMS и других тестовых приложений.
Усовершенствованные ручные зондовые станции серии
Зондовая станция модели – это измерительное оборудование, специально разработанное для лабораторий по анализу отказов. Оно обладает превосходной механической системой, стабильной конструкцией, эргономичностью и имеет возможности для модернизации функций и расширения.Оборудование может быть широко использовано в области производства и исследований интегральных схем, светодиодов, жидкокристаллических дисплеев, солнечных элементов, различных чипов и других отраслях промышленности.





