Усовершенствованные ручные зондовые станции серии
1. Поддержка загрузки карточек с иглами для повышения эффективности тестирования игл
2. Патрон можно поднимать и опускать для облегчения быстрого разделения образцов и зондов
3. Стандартный металлографический микроскоп, тест на подложку размером до 1 мкм
4. Регулировка подъема микроскопа с воздушным управлением
5. Многодиапазонное лазерное применение, быстрое переключение и точная резка
| серия FA | |||
| Модель | FA-series | FA-series | |
| Измерение | L: 960mm*W: 850mm*H: 1500mm | L: 880mm*W: 860mm*H: 1550mm | |
| Вес (около) | 260KG | 280KG | |
| Спрос на электроэнергию | 220VC, 50~60Hz | ||
| Зажимной патрон | Размер и угол поворота | 8″, поворот на 360° | |
| Диапазон перемещения X-Y | 8″ * 8″ | ||
| Движущееся разрешение | 1μm | ||
| Пример фиксированного режима | Вакуумная адсорбция | Вакуумная адсорбция | |
| Диапазон регулирования температуры | – | – 80~200℃ | |
| Быстрое извлечение | – | да | |
| Электрическое проектирование | Поверхность патрона электрическая плавающая с | ||
| переходником типа “банан”, может использоваться в качестве заднего электрода. | |||
| пластина | Спецификация | U-образный валик, доступно 10 микропозиционеров | O-образный валик, доступно 12 микропозиционеров |
| Режим перемещения и регулировки | Валик можно быстро поднимать вверх и вниз на 6 мм с функцией автоматической фиксации, валик можно точно | ||
| настраивать вверх и вниз на 25 мм с разрешением 1 мкм | |||
| Микроскоп | Дальность перемещения | X-Y: 2″ * 2″, | X-Y: 1″ * 1″, Z: 50.8mm |
| Z: 50.8mm | |||
| Разрешение | 1μm | ||
| Увеличение | 20 ~ 4000X | ||
| Операция переключения объектива | Быстрый наклон | Пневматический подъем | |
| Пиксели CCD | 50W (Analog) / 200W (Digital) / 500W (Digital) | ||
| Лазер | Длина волны | Выбираемая длина волны: 1064/532/355/266 нм | |
| Выходная мощность | 0~2.2mJ/pulse | ||
| Возможность микрообработки | Обрабатываемый материал: Cr / Al / ITO / Ni / TFT / RGB / поликремний / Mo / Si / CF с внутренними примесями и т.д. | ||
| Точность | Минимальный обрабатываемый размер – 1*1 мкм (при использовании объектива 100X) | ||
| Режим охлаждения | Лазер с воздушным охлаждением или лазер с водяным охлаждением | ||
| Микропозиционер | Диапазон перемещения X-Y-Z | 12mm-12mm-12mm / 8mm-8mm-8mm | |
| Механическое разрешение | 2μm / 0.7μm / 0.1μm | ||
| Точность утечки тока | Coaxial 1pA/V @ 25 ℃; Three shaft 100fA/V @ 25 ℃; Triaxial 10pA@3kv @25°C， | ||
| Условия испытания: сухая среда для заземляющего экрана (точка росы воздуха ниже -40°C) | |||
| Банановая головка / зажим “Крокодил” / Коаксиальный / трехосный | Банановая головка / зажим “Крокодил” / Коаксиальный / трехосный | ||
| Дополнительные аксессуары | Механизм быстрого извлечения патрона | ||
| Обнаружение горячих точек с помощью жидкокристаллического пакета | |||
| Набор для тестирования высокого напряжения/высокого тока | |||
| Горячая цыпочка | |||
| Защитная коробка | |||
| Специальный адаптер | |||
| Стол без вибрации | |||
| Позолоченный патрон | |||
| Коаксиальный/трехосный патрон | |||
| Быстрый подъем и опускание патрона Z и выбор точной регулировки | |||
| Тест на интенсивность света/длину волны | |||
| Принадлежности для радиочастотного тестирования | |||
| Активный зонд | |||
| Проверка низкого тока/емкости | |||
| Приспособление для испытания волоконно-оптического соединителя | |||
| Крепление комплектного вспомогательного оборудования для тестирования микросхем | |||
| Крепление вспомогательного оборудования для тестирования печатных плат | |||
| Специальный индивидуальный дизайн | |||
| Приложение | Анализ отказов микросхем/ЖК-дисплеев/OLED-дисплеев при различных температурах окружающей среды | ||
| п/п | Классификация в соответствии с тестируемыми образцами | п/п | Классифицируется в зависимости от области применения | |
| 1 | Тестирование пластин | 1 | Радиочастотный тест | |
| 2 | Светодиодный тест | 2 | Испытание окружающей среды при высокой температуре | |
| 3 | Тестирование силового устройства | 3 | Испытание на низкий ток (уровень 100fA) | |
| 4 | Тестирование пластин | 4 | Тест I-v/c-v/p-iv | |
| 5 | Тест MEMS | 5 | Испытание на высокое напряжение, большой ток | |
| 6 | Тест ЖК-панели | 6 | Испытание окружающей среды в магнитном поле | |
| 7 | Испытание солнечного элемента | 7 | Проверка радиационной обстановки | |
| 8 | Испытание на удельное сопротивление поверхности материала | 8 | лазерная реставрация |
Сопутствующие продукты
Related products
Автоматическая зондовая станция для кремниевых пластин
Новая мощная зондовая станция , используемая в диапазоне температур от -45 ℃ до + 200 ℃
Поддерживает определение характеристик пластин в высоковольтных диапазонах измерений 3 кВ (триаксиальный) / 10 кВ (коаксиальный) и 500 А, с возможностью проведения тестирований на сверхтонких листовых пластинах или пластинах TAIKO.Полуавтоматическая станция для измерения пластин серии
Серия – это полуавтоматическая зондовая станция, которая объединяет электрические, оптоволновые, микроволновые и другие функции тестирования. Она специализируется на тестировании производительности современных чипов из различных материалов, таких как 6-дюймовые / 8-дюймовые / 12-дюймовые пластины (обратная совместимость) Si, GaN, SiC и т.д.Он может выполнять всепогодное обнаружение на кристалле 7 * 24 пластин, MEMS, биологических структур, фотоэлектрических устройств и других интегральных схем, светодиодов, ЖК-дисплеев, солнечных элементов и т.д., а также может загружать систему контроля температуры для удовлетворения различных требований клиентов к тестированию производительности при высоких и низких температурах. окружающая среда.
Вакуумная станция для измерения высоких и низких температур серии
В 2012 году, после того как запустила в КИТАЕ первую вакуумную станцию для измерения высоких и низких температур серии CG с независимой технологией, КОМПАНИЯ начала непрерывные исследования В ОБЛАСТИ технологии вакуумных низкотемпературных испытаний.После постоянной оптимизации и улучшения эксплуатационных характеристик продукта технической командой стабильность и надежность оборудования достигли достаточно высокого уровня и широко используются в отечественных первоклассных университетах, научно-исследовательских институтах, полупроводниковых компаниях и многих других подразделениях.
Опираясь на ТЕХНИЧЕСКИЙ ОПЫТ в испытаниях вакуумных зондов при высоких и низких температурах, В 2016 году БЫЛА ПРИГЛАШЕНА принять участие В разработке НЕКОТОРЫХ ОСНОВНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ проекта “Устройство наземного моделирования космической среды”, совместно созданного Харбинским технологическим институтом и Китайской аэрокосмической научно-технической группой; проект используется для проверьте устойчивость космического аппарата к воздействию вакуума, холодной черноты, солнечной радиации, магнитных полей и способность противостоять излучению частиц высокой энергии, солнечному ветру и микрометеороидам.В ЭТОМ ПРОЕКТЕ предоставляет техническую поддержку в области сверхвысокого вакуума, сверхнизких температур, автоматического управления, лазерного моделирования и т.д.Ручная зондовая станция для измерения высоких и низких температур серии
Высокотемпературные и низкотемпературные зондовые станции серии C обеспечивают среду измерений без электромагнитных помех (EMI) / радиочастотных помех (RFI) и светонепроницаемость за счет дополнительной конструкции защитной камеры. Оборудование может соответствовать требованиям испытаний в диапазоне температур от -60 °C до 300°C.
