Продукция
- Главная
- /
- Лазерный ремонтный аппарат
-
Ремонт масок с вырезами L14
Оборудование для лазерной резки и восстановления масок серии L14 предназначено для устранения дефектов, возникающих в процессе использования масок. Основой оборудования является передовая система машинного зрения, которая предоставляет высокоточные и экономичные решения для устранения дефектов на масках высокой ценности. Это в значительной степени снижает производственные и эксплуатационные затраты предприятий.
-
Маска для ремонта LCVD LD14
Оборудование для ремонта масок LCVD LD14 в основном использует технологию лазерно-индуцированного химического осаждения из газовой фазы (LCVD) для устранения дефектов на масках。 Оно имеет широкий диапазон осаждаемой толщины и высокую точность ремонта. Микронная точность лазера эффективно справляется с масками с очень маленьким интервалом, предоставля высокоточные и экономичные решения для устранения дефектов масок с высокой стоимостью。 Это позволяет значительно снизить затраты на производство и эксплуатацию для предприятий。
